理濤氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀理濤氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

LT-BS003氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續(xù)加載電機； B—聲發(fā)射探頭， 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣臺； E—位移電機， 用以勻速沿水平方向拖動試樣臺； F—切向摩擦力傳感器， 連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器； I—光學顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控制器； L—微型計算機（嵌入式工業(yè)電腦）， 用以實施測試自控和自動處理數(shù)據(jù)， 并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機， 輸出試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

技術參數(shù)

控制系統(tǒng)：PLC+Windows系統(tǒng)

操作界面：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業(yè)電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h， 然后按規(guī)定步驟測試只需很少的測試次數(shù)即可評價劃痕特性；

壓頭規(guī)格：按 GB/T 2848 規(guī)定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內(nèi))， 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭， 確認其頂端是光滑潔凈的球面， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置；

加載速率： 對硬質(zhì)薄膜為(20～40)N/min；對非硬質(zhì)薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅(qū)動器;

運動模式：絲桿+導軌，精度0.001mm；

光學顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關系圖，XY關系圖；

測試高度范圍：0-100mm；

測試模式：往復式運動，可單線運動，工業(yè)電腦觸摸屏上設置；

運動范圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm；